ഇത് RLS സീരീസ് RF വൈദ്യുതി വിതരണവുമായി പൊരുത്തപ്പെടുത്താൻ കഴിയും, കൂടാതെ പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ്, കോട്ടിംഗ്, പ്ലാസ്മ ക്ലീനിംഗ്, പ്ലാസ്മ ഡീഗമ്മിംഗ്, മറ്റ് പ്രക്രിയകൾ എന്നിവയിൽ ഇത് വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.ഒറ്റയ്ക്ക് ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ, മറ്റ് നിർമ്മാതാക്കളുടെ RF പവർ സപ്ലൈകൾക്കൊപ്പം ഇത് ഉപയോഗിക്കാം.